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未來3-5年,中國大陸不缺浸潤式DUV光刻機,5nm芯片也不用愁
2024/01/06

一直以來,中國大陸是買不到ASML的EUV光刻機的,我們只能買到DUV光刻機,而DUV不論先進,還是落后,都能隨便買,ASML重申了好多次的,這個大家都清楚。

不過,按照荷蘭,美國等的禁令,從2024年1月1日開始,ASML最新的DUV光刻機NXT:2100i、2050i已經不能賣給中國大陸了,這兩種的許可證被吊銷了。

雖然ASML沒有說,另外兩台浸潤式DUV光刻機NXT:2000i,NXT:1980Di還能不能賣,但估計也夠嗆,因為按照美國2023年10月份的禁令要求,NXT:1980Di實際上也是不行的,其DCO值超過了美國的限制。

至于日本,則卡的更嚴重,40nm的設備就不能賣到中國大陸來的,所以尼康的浸潤式光刻機,不管什麼型號,都是無法賣到中國來的。

正因為如此,所以很多人擔心,接下來我們需要浸潤式光刻機怎麼辦?畢竟進入65nm以下,就需要用到浸潤式光刻機了,普通的干式DUV光刻機,其最小工藝制程,只在65nm的。

事實上,大家真的不用愁,至少3-5年內,中國大陸是不缺浸潤式DUV光刻機的。

一方面是前面已經說過了,ASML沒有將話說死,只說NXT:2100i、2050i這兩款的許可證吊銷了,還有NXT:2000i,NXT:1980Di這兩款啊,這4款浸潤式DUV光刻機,精度是基本相同的,只是效率不同而已。

另外一方面,2023年,中國大陸向ASML采購了約600億元的光刻機,是2022年采購量的3倍左右,其中以浸潤式DUV光刻機為主,說明我們早就做好了準備,按照正常的使用情況來看,用個3-5年問題不大。

畢竟以前一年才采購100-200億,現在一年采購了600億了,已經做好未來幾年用量準備。

第三,則是目前中國國產浸潤式光刻機突破在即,也許不需要3-5年就突破了,那時候都不需要進口了,還擔心什麼呢?

最后,再說一說,浸潤式DUV光刻機,制造7nm芯片是不成問題的,這個台積電第一代7nm,就是浸潤式DUV光刻機制造出來的,而華為Mate60上的芯片,也驗證了這一點。

而浸潤式光刻機之父林本堅甚至表示,浸潤式光刻機,從7nm推進至5nm,也是可行的,只是需要更多次的曝光,導致成本上升而已,成本很重要,但沒有進入5nm重要嘛。

所以說,未來3-5年,我們根本就不用愁浸潤式DUV光刻機,甚至推進至5nm也不用愁,我們已經有了足夠的準備,至于3-5年之后, 也許時代早就變了,就更不需要杞人憂天了。

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