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清華EUV項目落地,中國光刻機工廠要來了?官方正式回應
2023/09/19

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光刻機是制造芯片的重要設備,人類探索了半個世紀,從設計EUV光刻機的原理再到成功制造出來,可以說EUV光刻機匯聚了全人類智慧的結晶。可是在西方國家的限制下,大陸廠商無法購得EUV光刻機。

在關鍵時刻,有網傳消息稱清華EUV項目落地,將要國內建一座光刻機工廠,可不用國外的EUV光刻機了。事實究竟如何?官方正式回應。

網傳中的光刻機工廠

光刻機是芯片制造過程中非常重要的一步,它可以將芯片設計圖案投影到硅片上,從而形成微小的電路結構。光刻機的精度和穩定性直接影響到芯片的制造質量和性能。

現代芯片的制造需要使用非常精密的光刻機,其中最先進的光刻機可以將納米級別的圖案投影到硅片上。涉及到7nm,5nm及以下的芯片制造,更是需要EUV光刻機的支持。

雖然也有不少光源可以媲美EUV極紫外光源,但目前為止EUV是唯一一個實現商業化部署,且支持大規模量產的光源技術。

其余的電子束,X射線等等都還未真正應用于芯片制造。

不過清華大學多年前的一項光源技術研究引起了人們的注意,這項研究報告了一種新型粒子加速器光源 「穩態微聚束」的首個原理驗證實驗,穩態微聚束也被稱作SSMB,在SSMB的應用潛力中,未來有可能成為EUV光刻機的光源。

必須要注意的是,這只是理論驗證,還沒有真正投入到實際應用中。可在網上出現了大量的消息表示清華EUV項目落地,還要在雄安新區建成一座光刻機工廠。

大致的情況就是使用光刻機工廠可以精準控制納米制程,要多少納米就在哪個節點取用,用光刻機工廠替代傳統的EUV光刻機。消息傳得一板一眼,甚至「有圖有真相」,網傳消息中放出了一張形狀為圓環的建筑,對應光刻機工廠的建設狀況。

網傳消息愈演愈烈,不少人都覺得確有其事了。那麼事實究竟如何呢?官方正式回應了。

官方正式回應

9月18日,中國電子院發布消息,辟謠網傳的光刻機工廠是北京高能同步輻射光源項目(HEPS)。根據介紹可知,該項目是中國第一台高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。

換句話說,這是國內的大科學裝置,主要用處是進行科學實驗,而不是所謂的光刻機工廠。

更多的資料顯示,位于北京的高能同步輻射光源項目始于2019年,預計在2025年正式投入使用,一旦進入到使用運營狀態,對中國探索微觀世界大有裨益。

其實只需要對該項目進行深入了解,就可以得知真相,也不至于讓網傳的光刻機工廠虛假消息大肆傳播。

最初傳播該消息的人,抓住了國人對突破光刻機制造技術,對生產出高端芯片的期待心理,這種期待容易被有心之人利用,成為別人賺取流量,博取噱頭的工具。網上的消息魚龍混雜,在不明所以的情況下很容易被帶節奏。

尤其是涉及科研的東西,因為其中的原理過于復雜,科學術語太多,普通人也不知道具體的情況,只能聽之任之。

隨著官方正式回應,也讓外界明白光刻機工廠并非真實存在。國人都期待能有好消息發生,國內也一直在努力完善國產芯片產業鏈,而不是用傳播虛假消息的方式讓人接收錯誤的知識,這對真正的科技進步沒有任何好處,還容易被潑冷水。

穩扎穩打,厚積薄發

光刻機工廠的消息雖然是假的,但國內并沒有停止光刻機領域的研發。中國有自己的光刻機制造商——上海微電子,在其背后也有對應的國產光刻機零部件供應商,負責雙工件台,物鏡系統以及曝光系統等等。

只要能順利解決光刻機四大件問題,后續的研發設計,生產制造相信就能水到渠成了。

而中國光刻機產業的發展需要做到穩扎穩打,厚積薄發。

所以光刻機產業需要不斷進行技術創新,以提高產品質量和生產效率,為客戶提供更好的服務和產品。企業需要在硬件和軟件方面加強研發,不斷提升自己的核心競爭力。

而且企業需要尋求合作伙伴,建立戰略合作關系,共同開拓市場和推動產業發展。企業之間的合作可以通過共享資源、技術和市場信息等方面實現互利共贏。

荷蘭ASML之所以能成功,很大一部分原因就是和台積電,三星等廠商進行深入合作,他們既是客戶,也是股東,只要ASML研制出先進的光刻機技術,便能在客戶的生產線進行驗證,互幫互助實現共同成長。

中國光刻機廠商和供應鏈巨頭們也能建立共享資源的平台,為國產光刻機的進步一起努力。西方國家起步較早,率先占據光刻機核心地位,期待中國光刻機有朝一日也能後來居上。

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