光刻機是芯片制造過程中最重要的設備,決定著芯片制程的先進程度。但由于多種原因,光刻機目前主要依賴進口,這也成了美方對我們實施芯片限制的一個重點。
之前,美方只是限制ASML出貨高端EUV光刻機,後來隨著芯片規則不斷收緊,又要限制DUV光刻機。不過,ASML不再甘心繼續受損,近日消息顯示果然有一套。
2022年10月份,美方把芯片限制標準提升到了14nm及以下制程后,就盯上了先進半導體設備,尤其是浸潤式DUV光刻機。于是,美拉攏日荷兩方達成三方協議。
因為光刻機的出貨商主要是荷蘭的ASML和日本的尼康、佳能,日本方面一向比較順從,主要是荷蘭方面,ASML之前已經被限制了EUV,對DUV限制非常地抵觸。
然而,在美方的施壓和推動下,日本和荷蘭于2023年先后宣布正式實施出口管制。
日本方面沒有意外,迅速制定了嚴格的限制標準,于去年7月23日正式實施,直接將制程范圍在45 nm -7nm的浸潤式光刻機列入限制范圍,尼康的型號都不能出貨。
然而,荷蘭方面就不同,不僅推到去年9月1日才開始實施限制,光刻機限制標準還增加了同時符合DCO值小于1.5nm,所以ASML老型號1980Di還可以繼續出貨。
即使荷蘭9月1日正式實施管制,但ASML又取得了到2023年底前的出貨許可證。
從光刻機出貨方面可以看出,日本方面就很配合美方,而荷蘭方面相對就沒那麼地順從。在這種情況下,ASML才爭取到了加速出貨的機會,而尼康就沒這麼幸運了。
不過,新年伊始情況就發生改變了,ASML對外發表聲明,荷蘭政府最近已經吊銷了部分光刻機許可證,2050i和2100i兩款不能再向中企出貨,影響了少數大陸客戶。
那麼,這是不是意味著我們高端芯片發展將會受到影響?事實上情況并沒那麼嚴重。
首先,ASML非常精明,聲明也沒那麼簡單。因為ASML只是表示2050i和2100i兩款許可證被吊銷,但原來是四款可出貨,這說明2000i和1980Di還可以繼續出貨。
四款浸潤式光刻機的制程其實是一樣的,都是可以生產45nm-7nm芯片,只是生產的效率不同而已。這還是在美方政府的督促要求下,荷蘭才取消了兩款的許可證。
即使美方再次進行施壓,荷蘭還可以增加限制2000i型號,ASML還能出貨1980Di!
其次,ASML不僅還可以繼續出貨,之前也已經出貨了足夠多的光刻機。ASML近日聲明中也表示,大陸客戶預付購買的DUV光刻機所積壓的訂單基本都已完成交付。
情況也確實如此,2023年ASML向大陸出貨了超600億元的光刻機,是2022年的3倍左右,去年二季度來自大陸市場營收占比達到24%,三季度更是占到46%。
這樣的話,我們已經儲備了足夠多的DUV光刻機,可以說能夠滿足未來幾年需求。
再者,我們買了那麼多的光刻機,給我們國產光刻機突破贏得了更多時間。之前就有消息顯示,上海微電子等相關國內光刻機產業鏈在努力,攻堅更先進的光刻機。
後來國產光刻機突破又沒了消息,但沒消息并不代表沒有進步。要知道,我們加速研發先進的國產光刻機,主要是為了解決自己的問題,根本沒必要向外公布消息。
前段日子,華為自研麒麟芯片回歸,被證實是大陸產業制造,具體情況也不公布。
因此,美方實際的限制根本阻擋不了我們的芯片發展,即使是擴大限制先進光刻機也沒用,因為我們國產先進光刻機即將或者已實現突破,擺脫依賴已經指日可見。
所以ASML才會想盡辦法加速向大陸市場出貨,因為它很明白自己的處境,如果不趁現在的機會多出貨,未來恐怕就沒機會了。對此外媒表示,ASML果然有一套!
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