光刻機是芯片制造過程中最重要的設備，決定著芯片制程的先進程度。但由于多種原因，光刻機目前主要依賴進口，這也成了美方對我們實施芯片限制的一個重點。

之前，美方只是限制ASML出貨高端EUV光刻機，後來隨著芯片規則不斷收緊，又要限制DUV光刻機。不過，ASML不再甘心繼續受損，近日消息顯示果然有一套。

2022年10月份，美方把芯片限制標準提升到了14nm及以下制程后，就盯上了先進半導體設備，尤其是浸潤式DUV光刻機。于是，美拉攏日荷兩方達成三方協議。

因為光刻機的出貨商主要是荷蘭的ASML和日本的尼康、佳能，日本方面一向比較順從，主要是荷蘭方面，ASML之前已經被限制了EUV，對DUV限制非常地抵觸。

然而，在美方的施壓和推動下，日本和荷蘭于2023年先后宣布正式實施出口管制。

日本方面沒有意外，迅速制定了嚴格的限制標準，于去年7月23日正式實施，直接將制程范圍在45 nm -7nm的浸潤式光刻機列入限制范圍，尼康的型號都不能出貨。

然而，荷蘭方面就不同，不僅推到去年9月1日才開始實施限制，光刻機限制標準還增加了同時符合DCO值小于1.5nm，所以ASML老型號1980Di還可以繼續出貨。

即使荷蘭9月1日正式實施管制，但ASML又取得了到2023年底前的出貨許可證。

從光刻機出貨方面可以看出，日本方面就很配合美方，而荷蘭方面相對就沒那麼地順從。在這種情況下，ASML才爭取到了加速出貨的機會，而尼康就沒這麼幸運了。

不過，新年伊始情況就發生改變了，ASML對外發表聲明，荷蘭政府最近已經吊銷了部分光刻機許可證，2050i和2100i兩款不能再向中企出貨，影響了少數大陸客戶。

那麼，這是不是意味著我們高端芯片發展將會受到影響？事實上情況并沒那麼嚴重。

首先，ASML非常精明，聲明也沒那麼簡單。因為ASML只是表示2050i和2100i兩款許可證被吊銷，但原來是四款可出貨，這說明2000i和1980Di還可以繼續出貨。

四款浸潤式光刻機的制程其實是一樣的，都是可以生產45nm-7nm芯片，只是生產的效率不同而已。這還是在美方政府的督促要求下，荷蘭才取消了兩款的許可證。

即使美方再次進行施壓，荷蘭還可以增加限制2000i型號，ASML還能出貨1980Di！

其次，ASML不僅還可以繼續出貨，之前也已經出貨了足夠多的光刻機。ASML近日聲明中也表示，大陸客戶預付購買的DUV光刻機所積壓的訂單基本都已完成交付。

情況也確實如此，2023年ASML向大陸出貨了超600億元的光刻機，是2022年的3倍左右，去年二季度來自大陸市場營收占比達到24%，三季度更是占到46%。

這樣的話，我們已經儲備了足夠多的DUV光刻機，可以說能夠滿足未來幾年需求。

再者，我們買了那麼多的光刻機，給我們國產光刻機突破贏得了更多時間。之前就有消息顯示，上海微電子等相關國內光刻機產業鏈在努力，攻堅更先進的光刻機。

後來國產光刻機突破又沒了消息，但沒消息并不代表沒有進步。要知道，我們加速研發先進的國產光刻機，主要是為了解決自己的問題，根本沒必要向外公布消息。

前段日子，華為自研麒麟芯片回歸，被證實是大陸產業制造，具體情況也不公布。

因此，美方實際的限制根本阻擋不了我們的芯片發展，即使是擴大限制先進光刻機也沒用，因為我們國產先進光刻機即將或者已實現突破，擺脫依賴已經指日可見。

所以ASML才會想盡辦法加速向大陸市場出貨，因為它很明白自己的處境，如果不趁現在的機會多出貨，未來恐怕就沒機會了。對此外媒表示，ASML果然有一套！

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