很多人肯定都聽說過這麼一件事,那就是ASML嘲笑中國光刻機的:「就是給全套圖紙,中國人也造不出光刻機來。」
這件事是不是真的,誰也不清楚,不過上海微電子的賀榮明曾承認過,說是2002年他帶隊去歐洲考察時,ASML的工程師確實說過類似的話。
不過大家想一想,那時候中國光刻機相對還比較落后,說是去歐洲考察,其實主要還是去學別人技術、經驗等的,所以傲慢的歐洲人,先給大家上了第一課。
至于真的能不能造出,這個就不用懷疑了,中國在1966年就造出了第一台接觸式光刻機,當時只比美國落后2-3年,你說能不能造出來?
不過後來,因為這樣那樣的原因,特別是在80年代興起的那股「造不如買」的思潮之下,中國光刻機與美國落后的確實是越來越遠了。
直到上海微電子成立,并于2007年造出了第一台光刻機,中國光刻機才又重新發展起來。
後來,中國光刻機更是飛速發展,2016年的時候,上海微電子193nm光源的90nm精度的干式光刻機,才實現全面量產。
而最近幾年,關于國產光刻機的消息不斷,甚至在EUV光刻機這樣的最頂尖技術上,國產光刻機也取得了一個又一個的成績。
搞的ASML的心都是七上八下的,所以最近幾年,ASML也是不斷的改口了。
之前ASML的CEO說, 「出口管制將加快中國自主研發,15年時間里他們將做出所有的東西」
而近日,他又說, 禁止向中國出口技術其實毫無意義,反而可能適得其反,讓中國加速自主創新。
很明顯,ASML認為,這樣打壓下去,中國或許能很快的生產出一切想要的光刻機出來,包括最高端的DUV光刻機,以及EUV光刻機。
而一旦中國生產出這些光刻機之后,ASML就會受到非常大的影響,畢竟中國是全球最大的芯片市場,如果不從ASML買光刻機了,全球的格局都會被改變。
于是ASML一而再,再而三的警告美國,警告全世界,不能輕視中國,中國是能夠自己造出光刻機的。